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JS-1600真空濺射鍍膜機

JS-1600 Sputter Coating Machine

JS-1600是我司開發的一款磁控濺射鍍膜設備,該設備成膜速率高,TiO2速率可達0.3nm/s以上,SiO2速率可達1.0nm/s以上,適用于在玻璃、樹脂、陶瓷、金屬等各類材質表面上鍍制AR膜、分光膜、濾光膜、高反膜等各類薄膜。配合我司自主開發的自動上料系統,實現了鍍膜作業的全自動化。

該設備采用了以Microsoft Windows為OS的工業控制系統,鍍膜全過程自動化,全過程監控記錄鍍膜數據。

STAR-1100AR(圖1)

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